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缝隙阵列的时域溅射特性研究
缝隙阵列的时域溅射特性研究
Study on the Time Domain Sputtering Effect and Scattering of Slot Arrays of Different Sizes
- 电子学报 2018年46卷第8期 页码：2030-2034
DOI： 10.3969/j.issn.0372-2112.2018.08.032
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