基于增长修剪型神经网络的半导体生产线动态瓶颈分析方法

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基于增长修剪型神经网络的半导体生产线动态瓶颈分析方法

学术论文 | 更新时间：2025-07-16

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- 基于增长修剪型神经网络的半导体生产线动态瓶颈分析方法
- Dynamic Bottleneck Analysis for Semiconductor Wafer Fabrication System Based on Growing and Pruning Neural Networks
- 曹政才，邱明辉，刘民
- 电子学报 2016年44卷第7期页码：1636-1642
- 作者机构：
  1. 北京化工大学信息科学与技术学院,北京,100029
  2. 吉林大学符号计算与知识工程教育部重点实验室,吉林,长春,130012
  3. 清华大学自动化系,北京,100084
  4. 北京化工大学信息科学与技术学院,北京,100029
  5. 吉林大学符号计算与知识工程教育部重点实验室,吉林,长春,130012
  6. 清华大学自动化系,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
  国家自然科学基金 (No.51375038);高等学校博士学科点专项科研基金博导类课题 (No.20130010110009);复杂系统管理与控制国家重点实验室开放课题 (No.20120104);吉林大学符号计算与知识工程教育部重点实验室开放课题
- DOI： 10.3969/j.issn.0372-2112.2016.07.017
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