基于LaFMD处理的新型阈值调控技术研究

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基于LaFMD处理的新型阈值调控技术研究

学术论文 | 更新时间：2026-10-08

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- 基于LaFMD处理的新型阈值调控技术研究
- Research on Novel Threshold Voltage Modulation Technology Based on LaFMD Treatment
- 李严，毛晓烔，李永亮
- 电子学报 2026年54卷第8期页码：162-169
- 作者机构：
  1.北京信息科技大学理学院，北京 100192
  2.中国科学院微电子研究所，北京 100029
- 作者简介：
  李严女，1982年5月出生于黑龙江省哈尔滨市。现为北京信息科技大学副教授、硕士生导师。主要研究方向为新型纳米器件研制、集成电路设计。E-mail: yanli@bistu.edu.cn
  毛晓烔女，1998年4月出生于河南省濮阳市。现为中国科学院微电子研究所博士研究生。主要研究方向为新型环栅纳米片器件。E-mail: maoxiaotong@ime.ac.cn
  李永亮男，1981年11月出生于辽宁省葫芦岛市。现为中国科学院微电子研究所正高级工程师、博士生导师。主要研究方向为新型逻辑三维器件及高迁移率沟道集成技术。E-mail: liyongliang@ime.ac.cn
- 基金信息：
  北京市自然科学基金(4262092;4264149)
- DOI： 10.12263/DZXB.20260357
  中图分类号：
- 录用：2026-06-09 ，
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