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框架结构对薄膜体声波谐振器性能提升的研究
框架结构对薄膜体声波谐振器性能提升的研究
The Performance Improvement of Thin Film Bulk Acoustic Resonators by Frame Structure
- 电子学报 2024年52卷第2期 页码:407-413
DOI: 10.12263/DZXB.20220346
修回:2023-05-15
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