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面向医疗微系统应用的基于引线键合仪的碳纳米管转移集成工艺方法
面向医疗微系统应用的基于引线键合仪的碳纳米管转移集成工艺方法
Transfer and Integration of Carbon Nanotubes Using a Wire Bonder for Application in Medical Microsystems
- 电子学报 2022年50卷第4期 页码:984-989
DOI: 10.12263/DZXB.20211001
修回:2022-01-24
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