基于微纳加工技术的生物传感器研究进展

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基于微纳加工技术的生物传感器研究进展

综述评论 | 更新时间：2025-12-08

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- 基于微纳加工技术的生物传感器研究进展
- A Review on MEMS/NEMS-Based Biosensor
- 李杜娟，陈慧旖，刘超然，樊凯，王高峰
- 电子学报 2021年49卷第6期页码：1228-1236
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  国家重点研发计划政府间国际科技创新合作重点专项 (No.2018YFE0120000）;浙江省重点研发项目 (No.2019C04003）;国家自然科学基金青年基金项目 (No.61804038）;公益技术研究计划/社会发展 (No.LGF18H1800052018）
- DOI： 10.12263/DZXB.20200266
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