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MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法
MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法
A Method for In-Situ Measuring Average Stress Gradient and Elastic Modulus of a MEMS Film
- 电子学报 2007年35卷第2期 页码：311-314
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